bc13气体用来干什么？

三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注人、干法蚀刻等工艺。分子式： BC13 。相对分子质量： 117.1691 （按 2007 年国际相对原子质量计算）。其主要内容是工业用,注人,蚀刻,117.1691,电子,BC13,制得,三氯化硼,气体。